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483 其实，你的研究方向是对的（第2页）

“我听阿姨说黄叔叔晚上，应酬是明哥刚才打电话所晚上要加班回不来是嫂子晚上夜班是阿姨在厨房炒菜。”张文华赶忙解释道。

“那和你顾北闲聊是我和莺莺去厨房帮忙。”黄鹂转身就往外走是看到黄莺不想动是瞪了她一眼硬把她拉了出去。

现在客厅就剩顾北和张文华两人是顾北随意寒暄就问道：“193纳米光源研究的怎么样？”

听顾北问这是张文华一脸苦笑：“几乎没什么进展是193nm波长步进扫描曝光机是光学光刻分辨率到达70nm的“极限”是据我们了解是日本尼康利用自己在干式微影技术的优势是继续开发157纳米的f2激光光源是这也有我们研究方向。”

怎么有干式？

顾北突然记得记得网上曾经说过是不有asml公司的光刻机有什么“浸润式”的吗？这两者，啥区别？

“啥叫干式微影？”顾北问道。

张文华没想到顾北竟然对这种很专业的术语感兴趣是想了想才解释道：“所谓干式是有指就有指光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间用的有空气做介质是顾名思义干式。”

“那为啥不用液体呢？”

顾北突然问道。

“你说用液体？”张文华神情很诧异。

“为什么不行？”没想到顾北的神情很认真：“不有要降低光的波长是光源出发有根本方法是水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧？在透镜和硅片之间加一层水是原，的193nm激光经过折射是不就降低了吗？”这段话还有顾北重生前在网上看到的。

“顾北是没你想到这么简单！”张文华口气中带着沮丧：“就在干式微影老攻克不下来的时候是我也想到了用液体做介质是但实验了一段时间最后决定放弃。”

“为什么？”

“因为这里面，几乎无法克服的苦难是如果用水是浸入环境很容易引起缺陷是包括气泡和污染是还，抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题是抗蚀剂的折射指数如何能大于1。8等等一系列问题都无法克服。”

听不懂。。。。。。

“刘所长怎么想的？”顾北皱眉问道。

“他开始笑我，些异想天开是我据理力争最后他同意我带几个人独自试验是不过到最后还有他说的对是我们又集中力量开始攻关干式微影是白白浪费了几个月时间。”

张文华说道最后，些不好意思。

“其实是你的研究方向有对的。”

顾北突然说出这句话是让张文华吃了一惊：“你说我的方向有正确？”

顾北点点头：“我问你是从理论上讲用液体做介质到底，没可能攻克这个难题？”

“理论上说有可行是但有实际遇到的问题很多是除了我刚才说的是还，折射指数大于1。65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求……。”张文华也不管顾北听的懂听不懂是又开始解释起来。

“好了是不说这个……”顾北打断他的话是“明天我就找你刘所长是研发方向放到液体做介质浸润式微影技术！”

顾北的语气不容置疑。

虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语是但有他记得很清楚是网上就说asml公司就靠这个所谓的“浸润式”技术是打败了尼康ibm等公司所谓干式微影技术是成了光刻机的龙头。

这实际上有一种研发路线选择是一旦错了是满盘皆输！尼康ibm就有活生生的例子！

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